特許
J-GLOBAL ID：200903047885463896
隠れヒンジを備えた高充填率反射型空間光変調器の作製
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 満
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-508742
公開番号（公開出願番号）：特表2006-526806
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
本発明は、隠れヒンジを備えたマイクロミラーアレイの作製に関し、このマイクロミラーアレイは、例えば、反射型空間光変調器には有用である。一実施形態では、このマイクロミラーアレイは、単結晶材料からなる第1の基板である基板から作製される。この第1の基板の第1の側に、キャビティが形成される。また、これとは独立に、電極と、アドレス指定および制御回路とが第2の基板の第1の側上に作製される。次に、第1の基板の第1の側は、第2の基板の第1の側に接合される。この両方の側は、第2の基板上の電極と、第1の基板上に作製され、電極が制御することになるミラープレートとが適切な関係をとるように位置合わせされる。さらに、第1の基板は、所望の厚みまで薄層化され、ヒンジはエッチングされ、犠牲材料が堆積され、第1の基板の上面は平坦化され、反射面が、ヒンジを覆うように堆積され、ミラーがエッチングによって解放され、ヒンジが、このヒンジに沿った軸の周りに回転できるように、ヒンジを解放するためにヒンジの周囲の犠牲層が除去される。
請求項（抜粋）：
空間光変調器を作製する方法であって、
キャビティを画定する第1の基板を形成し、
第2の基板の上に電極を作製し、
前記第2の基板に前記第1の基板を接合し、
前記第1の基板の上にヒンジとミラープレートとを形成し、
前記ミラープレートの上と、前記ヒンジの一部の上とに、前記ミラープレートの上面の面積よりも大きな面積を有する反射面を形成することを含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
