光電変換素子及びそれを用いた電子線発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 石田悟 , 諏澤勇司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-267593
公開番号（公開出願番号）：特開2007-080697
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】光電面におけるダメージを低減するとともに、電子ビームの加速を容易にする光電変換素子、及びこれを用いた電子線発生装置を提供すること。【解決手段】透過型カソードプラグは、レーザ光を照射されてレーザ光の照射方向に電子ビームを発生させる透過型の光電変換素子であって、照射方向に沿って複数の貫通孔306が設けられた光電面下地基板302と、光電面下地基板302の照射方向側の端面に沿って、複数の貫通孔306を覆うように形成された光電面31とを備える。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

レーザ光を照射されて前記レーザ光の照射方向に電子ビームを発生させる透過型の光電変換素子であって、前記照射方向に沿って複数の貫通孔が設けられたキャピラリー基板と、前記キャピラリー基板の前記照射方向側の端面に沿って、前記複数の貫通孔を覆うように形成された光電面と、を備えることを特徴とする光電変換素子。

IPC (4件)：

H01J 1/34 , G21K 1/00 , H01J 37/073 , G21K 5/04

FI (4件)：

H01J1/34 B , G21K1/00 E , H01J37/073 , G21K5/04 F

Fターム (3件)：

5C029DD01 , 5C030CC10 , 5C235CC04

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭63-150829
電子線発生装置及び光電面収容カートリッジ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-228089 出願人：浜松ホトニクス株式会社
高速連続撮影電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-368115 出願人：江藤剛治

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