特許
J-GLOBAL ID：200903048281749240
プラズマ処理装置における位相差を制御するための方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-535293
公開番号（公開出願番号）：特表2000-507739
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】第1の無線周波数(RF)信号及び第2のRF信号間の位相差を修正するためのプラズマ処理装置における方法。第1のRF信号は、第1のRF電力源により第1の電極に供給され、第2のRF信号は、第2のRF電力源によりプラズマ処理装置の第2の電極に供給される。第2のRF電力源は、マスタ及びスレーブ形態におけるスレーブRF電力源として前記第1のRF電力源に結合される。方法は、第1のRF信号の位相及び第2のRF信号の位相間の位相差を探知する工程を含む。方法は、さらに、位相差を位相制御設定点信号と比較して、第2のRF電力源に制御信号を出力し、それにより、第2のRF電力源が、制御信号に応答して、第2のRF信号の位相を修正し、位相差を、位相制御設定点信号により表される位相差値に近似させる工程を含む。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理室が、第1の無線周波数(RF)信号を第1の電極に出力するための第1の無線周波数(RF)電力源、及び第2のRF信号を第2の電極に出力するための第2のRF電力源を有し、該第2のRF電力源が、マスタ及びスレーブ形態におけるスレーブRF電力源として前記第1のRF電力源に結合されるプラズマ処理装置であって、 制御回路を備え、該制御回路は、 前記第1のRF信号の位相を検出するために前記第1の電極に結合される第1のセンサ回路と、 前記第2のRF信号の位相を検出するために前記第2の電極に結合される第2のセンサ回路と、 前記第1のRF信号及び前記第2のRF信号間の位相差を検出し、かつ該位相差を表す第1の信号を出力するために、前記第1のセンサ回路及び前記第2のセンサ回路に結合されるミキサ回路と、 前記第2のRF電力源及び前記ミキサ回路に結合される位相サーボ回路であって、前記第1の信号及び位相制御設定点信号に応答して、前記第2のRF電力源に制御信号を出力し、前記第2のRF信号の位相を修正し、それにより、前記位相差を、前記位相制御設定点信号により表される位相差値に近似させる前記位相サーボ回路と、を含んでいるプラズマ処理装置。
引用特許：
審査官引用 (17件)
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特開昭61-139670
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特開昭61-139670
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特開昭61-139670
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