特許
J-GLOBAL ID:200903048339636999
結晶配向セラミックスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
高橋 祥泰
, 岩倉 民芳
, 高橋 祥起
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-316635
公開番号(公開出願番号):特開2006-124251
出願日: 2004年10月29日
公開日(公表日): 2006年05月18日
要約:
【課題】結晶配向セラミックスの圧電特性や誘電特性を簡単に制御することができる結晶配向セラミックスの製造方法を提供すること。【解決手段】等方性ペロブスカイト型化合物を主相とし、多結晶体を構成する結晶粒の特定の結晶面Aが配向する結晶配向セラミックスの製造方法である。該製造方法においては、準備工程と粉砕工程と混合工程と成形工程と焼成工程とを行う。準備工程においては、結晶面Aと格子整合性を有する配向面を有する第1異方形状粉末を準備する。粉砕工程においては、第1異方形状粉末を粉砕する。混合工程においては、第1異方形状粉末と共に焼結することにより等方性ペロブスカイト型化合物を生成する微細粉末と、第1異方形状粉末とを混合する。成形工程においては、第1異方形状粉末の配向面が略同一の方向に配向するように成形する。焼成工程においては、第1異方形状粉末と微細粉末とを焼結させる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなり、該多結晶体を構成する結晶粒の特定の結晶面Aが配向する結晶配向セラミックスの製造方法であって、
ペロブスカイト型化合物よりなり、上記特定の結晶面Aと格子整合性を有する結晶面が配向してなる配向面を有する第1配向粒子からなる第1異方形状粉末を準備する準備工程と、
上記第1異方形状粉末をジェットミルにより粉砕する粉砕工程と、
該粉砕工程後における上記第1異方形状粉末の1/3以下の平均粒径を有し、上記第1異方形状粉末と共に焼結させることにより上記等方性ペロブスカイト型化合物を生成する微細粉末を準備し、該微細粉末と上記第1異方形状粉末とを混合して原料混合物を作製する混合工程と、
上記第1異方形状粉末の上記配向面が略同一の方向に配向するように、上記原料混合物を成形して成形体を作製する成形工程と、
上記成形体を加熱し、上記第1異方形状粉末と上記微細粉末とを焼結させる焼成工程とを有することを特徴とする結晶配向セラミックスの製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/622
, C04B 35/00
, H01L 41/24
, H01L 41/187
FI (5件):
C04B35/00 E
, C04B35/00 J
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101J
Fターム (33件):
4G030AA02
, 4G030AA03
, 4G030AA04
, 4G030AA05
, 4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA10
, 4G030AA15
, 4G030AA16
, 4G030AA17
, 4G030AA18
, 4G030AA20
, 4G030AA21
, 4G030AA26
, 4G030AA28
, 4G030AA29
, 4G030AA30
, 4G030AA31
, 4G030AA32
, 4G030AA35
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA42
, 4G030AA43
, 4G030BA09
, 4G030BA10
, 4G030CA01
, 4G030CA02
, 4G030GA01
, 4G030GA03
, 4G030GA04
, 4G030GA08
, 4G030GA11
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
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