特許
J-GLOBAL ID:200903080888552030
圧電素子およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-020657
公開番号(公開出願番号):特開2004-007406
出願日: 2003年01月29日
公開日(公表日): 2004年01月08日
要約:
【課題】圧電体内に振動電極を形成した厚み振動の高次振動を励振するタイプの圧電素子であって圧電性を向上した、積層型の圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子10は、直方体状の圧電セラミック12を含む。圧電セラミック12は、積層されかつ一体的に形成される2枚のセラミック圧電体層12aおよび12bを含む。セラミック圧電体層12aおよび12bは、それぞれ、形状異方性を有しかつ自発分極が1つの平面内に優先配向するセラミック結晶粒を含む。この平面の面内方向は、セラミック圧電体層12aおよび12bの主面と垂直である。セラミック圧電体層12aおよび12bは、同じ厚み方向に分極されている。セラミック圧電体層12aおよび12bの間、上面および下面には、振動電極14a、14bおよび14cがそれぞれ形成される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
形状異方性を有しかつ自発分極が1つの平面内に優先配向するセラミック結晶粒を含むセラミック圧電体層と、振動を励振するために前記セラミック圧電体層を介して互いに対向するように形成された少なくとも3つの振動電極とを含む圧電素子において、
前記平面の面内方向が、前記振動電極と略垂直になるように配置され、
少なくとも3つの前記振動電極が重なり合った領域においてn次の厚み縦高調波(nは2以上の自然数)を励振することを特徴とする、圧電素子。
IPC (6件):
H03H9/17
, H01L41/083
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
, H03H3/02
FI (7件):
H03H9/17 A
, H03H3/02 B
, H01L41/08 Q
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101J
Fターム (13件):
4G031AA04
, 4G031AA11
, 4G031AA19
, 4G031AA35
, 4G031BA10
, 4G031CA04
, 4G031CA08
, 4G031GA06
, 5J108AA00
, 5J108BB05
, 5J108DD01
, 5J108DD06
, 5J108DD07
引用特許:
出願人引用 (12件)
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圧電素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-193899
出願人:株式会社村田製作所
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圧電素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-080558
出願人:株式会社村田製作所
-
圧電素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-013799
出願人:株式会社村田製作所
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審査官引用 (12件)
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