特許
J-GLOBAL ID：200903048352869927
多重露光描画方法及び多重露光描画装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198375
公開番号（公開出願番号）：特開2003-015309
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：
【要約】【課題】 マトリックス状に配列された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて描画面上に所定のパターンを多重露光により描画する。【解決手段】 マトリックス状に配列された多数の変調素子を持つ露光ユニット(181、...188;201、...207)を用いて所定パターンを描画面上に多重露光により描画する。露光ユニットは描画面に対して該露光ユニットの変調素子の一方の配列方向に沿って所定の一定速度で相対的に連続的に移動する。配列方向に配列された変調素子のうちの等間隔に配置された一連の変調素子が描画面に対して相対的に所定距離だけ移動する度毎にその変調素子は同一のビットデータで順次動作させられてそこに入射する光を変調する。変調素子による変調時間については該変調素子によって描画面上に得られるべき一画素露光領域のサイズ以下の距離を露光ユニットが描画面に対して移動する間の時間とされる。
請求項（抜粋）：
マトリックス状に配列された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて所定パターンを描画面上に多重露光により描画する多重露光描画方法であって、前記露光ユニットを前記描画面に対して該露光ユニットの変調素子の一方の配列方向に沿って所定の一定速度で相対的に連続的に移動させる移動段階と、前記配列方向に配列された前記変調素子のうちの等間隔に配置された一連の変調素子が前記描画面に対して相対的に所定距離だけ移動する度毎にその変調素子を同一のビットデータで順次動作させてそこに入射する光を変調させる変調段階とより成り、前記変調段階での変調時間については該変調素子によって前記描画面上に得られるべき一画素露光領域のサイズ以下の距離を前記露光ユニットが前記描画面に対して相対的に移動する間の時間とされることを特徴とする多重露光描画方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501
, H01L 21/027
G03F 7/20 501
, H01L 21/30 529
2H097AA12
, 2H097AB01
, 2H097BB01
, 2H097CA06
, 2H097GB02
, 2H097JA02
, 2H097LA09
, 5F046BA07
, 5F046CB22
, 5F046CB27
, 5F046CC01
, 5F046CC13
, 5F046DA30
