特許
J-GLOBAL ID：200903048408175630

圧電素子及びそれを用いる液滴吐出ヘッド並びに圧電素子の製造方法

発明者：
直野 崇幸

直野 崇幸 について

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新川 高見

新川 高見 について

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藤井 隆満

藤井 隆満 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-233017
公開番号（公開出願番号）：特開2009-065049
出願日： 2007年09月07日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】圧電特性が高く、かつ耐久性の高い圧電素子を提供すること。【解決手段】印加される電圧の変化により伸縮する圧電体膜と、圧電体膜の一方の面に配置された第1の電極と、圧電体膜の第1の電極が配置された面とは反対側の面に配置された第2の電極とを有し、圧電体膜は、気相成長法によって第2の電極上に形成されたPbxByOzを主成分とし、前記第2の電極との接触面から、前記第1の電極の方向に100nm離れた部分のx/yを0.8以上1.6以下であり、Bが、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni及びランタニド元素の少なくとも1つで構成されており、かつ、0<x≦1、0<y≦1、2.5<z≦3とすることで上記課題を解決する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
印加される電圧の変化により伸縮する圧電体膜と、 前記圧電体膜の一方の面に配置された第1の電極と、 前記圧電体膜の前記第1の電極が配置された面とは反対側の面に配置された第2の電極とを有し、 前記圧電体膜は、気相成長法によって前記第2の電極上に形成されたPbxByOzを主成分とし、前記第2の電極との接触面から、前記第1の電極の方向に100nm離れた部分のx/yが0.8以上1.6以下であり、前記Bが、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni及びランタニド元素の少なくとも1つで構成されており、かつ、0<x≦1、0<y≦1、2.5<z≦3であることを特徴とする圧電素子。
IPC (8件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C23C 14/08
FI (8件)：
H01L41/08 C ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  C23C14/08 K
Fターム (13件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP54 ,  2C057BA14 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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