特許
J-GLOBAL ID:200903048420727486
光透過性部材の欠陥検出装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小林 和憲
, 飯嶋 茂
, 小林 英了
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-007028
公開番号(公開出願番号):特開2008-175565
出願日: 2007年01月16日
公開日(公表日): 2008年07月31日
要約:
【課題】偏光板を用いた欠陥の検出を精度良く行う。【解決手段】走行するフイルム16と投光器22との間に第1偏光板25を設置する。そのフイルム16と受光器24との間に、第1偏光板25の偏光方向と直交するようにして第2偏光板26を設置する。第1及び第2偏光板25,26はヨウ素系偏光板から構成される。投光器22と第1偏光板25との間にバンドパスフィルタ27を設置する。バンドパスフィルタ27は、投光器22からの光のうち波長域が420nm以下及び700nm以上の光を除去する。これにより、欠陥があるフイルム16が位置するとき以外には、第1及び第2偏光板25,26から特定の偏光面の光以外の光が出ることが無くなり、欠陥に対する検出の精度を向上させることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光透過性部材に対して光を照射する投光器と、前記投光器で照明された前記光透過性部材から出た光を受光する受光器と、前記投光器と前記光透過性部材との間に設けられる第1の偏光板と、前記光透過性部材と前記受光器との間に設けられる第2の偏光板と、前記受光器の受光信号に基づき前記光透過性部材の欠陥を判定する欠陥判定部とを有する光透過性部材の欠陥検出装置において、
前記投光器と前記受光器との間に設けられ、前記第1及び第2の偏光板をクロスニコルに配置したときに前記受光器からの光を測定して得られる分光透過率が高い波長域の光を除去する除去光学系を備えることを特徴とする光透過性部材の欠陥検出装置。
IPC (3件):
G01N 21/88
, G01N 21/892
, G01B 11/30
FI (3件):
G01N21/88 H
, G01N21/892 A
, G01B11/30 A
Fターム (30件):
2F065AA03
, 2F065AA49
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL22
, 2F065LL32
, 2F065LL42
, 2F065NN02
, 2F065SS13
, 2G051AA41
, 2G051AB01
, 2G051AB12
, 2G051AB20
, 2G051BA08
, 2G051BA11
, 2G051BA20
, 2G051BB07
, 2G051BB15
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051CC15
, 2G051DA06
, 2G051EA25
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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透明性フィルムの異物検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-204497
出願人:住友化学株式会社
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特開平1-263540
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欠陥検査装置、欠陥検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-265212
出願人:コニカミノルタホールディングス株式会社
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