特許

J-GLOBAL ID：200903048733446887

赤外線検出回路および赤外線2次元イメージセンサ

発明者： 野田 実 ,  奥山 雅則 ,  久保 竜一 ,  田中 秀一 ,  向川 友徳 ,  橋本 和彦 ,  臼杵 辰朗
出願人/特許権者： 奥山 雅則 ,  株式会社村田製作所 ,  株式会社山武 ,  ホーチキ株式会社 ,  松下電器産業株式会社 ,  三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072571
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271141
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 高感度かつ簡易な構成の赤外線検出回路および高感度かつ高密度な室温動作赤外2次元イメージセンサを提供する。【解決手段】 シリコン基板300の溝部330上に、下部電極308、強誘電体薄膜310および上部電極312からなる赤外線検出容量CFと参照容量CRとが形成される。ゲートに与えられる選択信号に応じて、導通状態または非導通状態となるトランジスタTr1を介して、赤外線検出容量CFからの信号が外部に読み出される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成される赤外線検出回路であって、赤外線を吸収することによる温度変化に応じて静電容量値が変化する赤外線検出容量手段を備え、前記赤外線検出容量手段は、互いに対向する上部電極および下部電極と、前記上部電極および下部電極に挟まれる強誘電体薄膜とを含み、前記赤外線検出容量手段の静電容量値の変化を検出することにより赤外線を検知する、赤外線検出回路。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

FI (3件)：

G01J 1/02 R ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 5/02 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 赤外線検出器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-035830   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 熱形赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-074758   出願人：テルモ株式会社, 木村光照
• 特開平4-355331
  
• 熱型赤外線検出素子、熱型赤外線検出素子の製造方法、赤外線撮像システムおよび赤外線撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-293043   出願人：奥山雅則, 株式会社村田製作所, ホーチキ株式会社, 松下電器産業株式会社