特許
J-GLOBAL ID：200903048871096315

固体撮像素子、その製造方法及び固体撮像装置

発明者：
小川 智弘

小川 智弘 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090579
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284710
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】固体撮像素子の感度を向上させるためのオンチップの機械的強度を改善し、ケースの構造を簡単にすることであった。【解決手段】酸化シリコン膜などからなる透明膜12に等方性エッチにより凹部15-1を形成し、この中に窒化シリコン膜でなる高屈折率の透明膜16を埋設し、上面を平坦化することによりレンズとしている。このため機械的強度が高く、耐熱性が高い。またレンズ上面に空間を必要としないため、ケースが簡素化でき、コスト低減できる。
請求項（抜粋）：
基板上に多数配置された光電変換部上に表面が平坦な第1の透明膜を有し、前記各光電変換部の上にあたる位置の前記第1の透明膜に中心部にいくに従い単調に深くなる第1の凹部をそれぞれ有し、前記各第1の凹部に前記第1の透明膜よりも屈折率が高い第2の透明膜がそれぞれ埋設されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 B
引用特許：
審査官引用 (8件)
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