特許
J-GLOBAL ID：200903049695581895
プロキシミティ露光用フォトマスクおよびカラーフィルタの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山下 昭彦
, 岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-210931
公開番号（公開出願番号）：特開2008-039904
出願日： 2006年08月02日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】本発明は、プロキシミティ露光により、細かいパターンを形成することが可能なプロキシミティ露光用フォトマスク、およびそのプロキシミティ露光用フォトマスクを用いたカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。【解決手段】本発明は、透明基板1、前記透明基板1上に形成された略正多角形または略円形の遮光部2、および前記透明基板1上の前記遮光部2の外側に前記遮光部2と間隙をあけて形成された前記遮光部2と同心の補助遮光部3を有することを特徴とするプロキシミティ露光用フォトマスクを提供することにより、上記目的を達成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明基板、前記透明基板上に形成された略正多角形または略円形の遮光部、および前記透明基板上の前記遮光部の外側に前記遮光部と間隙をあけて形成された前記遮光部と同心の補助遮光部を有することを特徴とするプロキシミティ露光用フォトマスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H095BA03
, 2H095BA07
, 2H095BA12
, 2H095BB02
, 2H095BC09
