特許

J-GLOBAL ID：200903049906151272

ラクトン系共重合樹脂および感放射線性樹脂組成物

発明者： 宮松 隆 ,  石井 寛之 ,  西村 幸生 ,  斉藤 明夫
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054883
公開番号（公開出願番号）：特開2003-252933
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、特に解像度と露光余裕とのトレードオフの問題を解決でき、しかもドライエッチング耐性、パターン形状等にも優れた化学増幅型レジストの樹脂成分として好適なラクトン系共重合樹脂、および当該ラクトン系共重合樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ラクトン系共重合樹脂は、下記式(1)で表される繰り返し単位と、下記式(2-1)で表される繰り返し単位および下記一般式(2-2)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種とを有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂からなる。感放射線性樹脂組成物は、該ラクトン系共重合樹脂および感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】【化2】(但し、R1 、R2 およびR3 は水素原子またはメチル基を示す。)

請求項（抜粋）：

〔I〕下記式(1)で表される繰り返し単位と、〔II〕下記式(2-1)で表される繰り返し単位および下記式(2-2)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種とを有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算重量平均分子量が1,000〜100,000であるラクトン系共重合樹脂。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2-1)および式(2-2)において、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕

IPC (4件)：

C08F220/28 ,  C08F220/18 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08F220/28 ,  C08F220/18 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (32件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025FA17 ,  4J100AL02R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA05R ,  4J100BA06R ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BD12 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA38 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-188415   出願人：富士写真フイルム株式会社
• (メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220817   出願人：日本ゼオン株式会社
• レジスト組成物及びレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-312722   出願人：富士通株式会社
• ラクトン構造を有する(メタ)アクリレート誘導体、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-188853   出願人：日本電気株式会社
• シクロヘキサンラクトン構造を有する重合性化合物及び重合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-239969   出願人：丸善石油化学株式会社