特許
J-GLOBAL ID:200903049969825249
対象物の輪郭測定及び又は変形測定、特に干渉測定のための方法及び装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 宍戸 嘉一
, 村社 厚夫
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-162563
公開番号(公開出願番号):特開2005-315821
出願日: 2004年04月28日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】 像の質を向上させる対象物の輪郭測定及び又は変形測定、特に干渉測定のための方法及び装置を提供する。【解決手段】 本発明は、対象物(3)の輪郭測定及び又は変形測定のための方法であって、対象物(3)が、光、特に構造光で照射され、その光は、放射源によって放射され、且つ、特にコヒーレント光(5)或いは部分コヒーレント光、特にレーザ光からなり、対象物(3)で反射された光は、画像センサ(6)を有するカメラによって捕らえられる、方法において、第1の像が、第1の像領域(13)に適合したカメラ及び又は放射源の第1の調節でつくられ、第2の像が、第2の像領域(12)に適合したカメラ及び又は放射源の第2の調節でつくられ、それらの両方の像が結合される方法を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
対象物(3)の輪郭測定及び又は変形測定のための方法であって、対象物(3)が、光、特に構造光で照射され、その光は、放射源によって放射され、且つ、特にコヒーレント光(5)或いは部分コヒーレント光、特にレーザ光からなり、対象物(3)で反射された光は、画像センサ(6)を有するカメラによって捕らえられる、方法において、
第1の像が、第1の像領域(13)に適合したカメラ及び又は放射源の第1の調節でつくられ、第2の像が、第2の像領域(12)に適合したカメラ及び又は放射源の第2の調節でつくられ、それらの両方の像が結合される、ことを特徴とする方法。
IPC (3件):
G01B11/24
, G01B11/16
, G01B11/25
FI (3件):
G01B11/24 K
, G01B11/16 H
, G01B11/24 E
Fターム (25件):
2F065AA53
, 2F065AA65
, 2F065BB05
, 2F065CC13
, 2F065DD04
, 2F065FF06
, 2F065FF09
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065HH02
, 2F065HH06
, 2F065HH14
, 2F065HH18
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065LL30
, 2F065MM04
, 2F065NN03
, 2F065NN11
, 2F065PP13
, 2F065QQ03
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ42
引用特許:
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
-
特開昭62-021011
-
特開昭51-139355
-
レーザ光を利用した形状測定方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-031544
出願人:三菱重工業株式会社
-
特開昭62-021011
-
基板検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-152204
出願人:シャープ株式会社
-
自動断面計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-099894
出願人:日産自動車株式会社
全件表示
前のページに戻る