特許
J-GLOBAL ID：200903049992193004

高純度ルテニウムのリサイクル方法及びリサイクルされた高純度ルテニウムからのターゲットの製造方法

発明者：
新藤 裕一朗

新藤 裕一朗 について


出願人/特許権者：
株式会社日鉱マテリアルズ

株式会社日鉱マテリアルズ について


代理人 (1件)： 小越 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138335
公開番号（公開出願番号）：特開2002-332528
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 ルテニウム切削屑又は端材等のスクラップから高純度ルテニウムを容易にリサイクルする方法を確立し、さらにこのようにして得られた高純度ルテニウムから特性に優れたスパッタリングターゲットを安価に製造する方法を得る。【解決手段】 80wt%以上のルテニウムを含有するルテニウムスクラップをアルカリ又は酸処理し、表面に付着した不純物を除去した後、EB溶解により高純度化することを特徴とする高純度ルテニウムのリサイクル方法。
請求項（抜粋）：
80wt%以上のルテニウムを含有するルテニウムスクラップをアルカリ又は酸処理し、表面に付着した不純物を除去した後、EB溶解により高純度化することを特徴とする高純度ルテニウムのリサイクル方法。
IPC (4件)：
C22B 11/02 ,  C22B 7/00 ,  C22B 9/22 ,  C23C 14/34
FI (5件)：
C22B 11/02 ,  C22B 7/00 A ,  C22B 7/00 F ,  C22B 9/22 ,  C23C 14/34 A
Fターム (11件)：
4K001AA41 ,  4K001BA22 ,  4K001CA07 ,  4K001CA32 ,  4K001CA49 ,  4K001DB02 ,  4K001FA13 ,  4K029BA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC08
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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