レジストボトル及びレジストコーティング装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-151975
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340845
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、レジスト液へのダストの混入を防止することが可能で、取扱いや使用後の処理が容易なレジストボトルを提供することを目的とする。【解決手段】レジストコーティング装置に用いられるレジストボトルは、合成樹脂からなるパック式レジストボトル10である。従って、その製造過程からパック式レジストボトル10をクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル10内に充填したレジスト液12中にダストが混入することを防止することができる。また、比較的軽量であり、その出口部10bを下に向けて逆さに吊設する取扱いが容易であるため、パック式レジストボトル10内のレジスト液12を余すことなく全て使い切ることが容易になる。更に、使い切ったパック式レジストボトル10の処理においても、焼却等によって簡単に処理することが可能になる。

請求項（抜粋）：

レジストコーティング装置に使用されるレジスト液を充填するレジストボトルであって、前記レジストボトルが、合成樹脂からなるパック式レジストボトルであることを特徴とするレジストボトル。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , G03F 7/16 501

FI (3件)：

H01L 21/30 564 Z , B05C 11/08 , G03F 7/16 501

引用特許：

出願人引用 (7件)

溶液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-169422 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-167823
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-115065 出願人：ソニー株式会社

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審査官引用 (8件)

溶液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-169422 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-167823
特開平3-167823

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