特許
J-GLOBAL ID:200903050799817597
アクティブ型除振装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野田 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-287440
公開番号(公開出願番号):特開2000-120765
出願日: 1998年10月09日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 地震などの大振動が加わっても除振動作を維持することが可能で、かつ、アクチュエータなどの破損を防止することができるアクティブ型除振装置を提供する。【解決手段】 床10を伝わってきた上下方向の振動が第1所定加速度よりも大きく、水平方向の振動が第2所定加速度よりも大きかった場合、免震装置部400を構成するガイド部410とスライド部430が互いに上下方向に摺動しつつ移動することで定盤300に伝わる上下方向の振動を吸収減衰させ、空気ばね420によって定盤300の上下方向の移動に対する復元がなされる。免震装置部400を構成するガイド部410とすべり板440が互いに水平方向に摺動しつつ移動することで、定盤300に伝わる水平方向の振動を吸収減衰させ、コイルばね454によって定盤300の水平方向の移動に対する復元がなされる。
請求項(抜粋):
基台上において上下及び水平方向に移動可能に支持され被除振体が取付けられる定盤と、前記定盤の上下及び水平方向の加速度を検出し、検出した上下及び水平方向の加速度に対応して前記定盤を変位することにより、前記被除振体の上下及び水平方向の微振動を除去する除振装置部とを備えたアクティブ型除振装置において、前記基台と建築物に対して固定された基礎構造体との間に免震装置部を設け、前記免震装置部は上下方向の振動を吸収して減衰させるように構成された上下免震機構を備え、前記上下免震機構は前記基礎構造体の上下方向の振動の加速度が上下所定加速度よりも大きいときに作動し、前記上下方向の振動の加速度が前記上下所定加速度よりも小さいときに作動しないように構成され、前記上下所定加速度は前記除振装置部によって除振可能な前記被除振体の上下方向の振動の加速度よりも大きく設定されている、ことを特徴とするアクティブ型除振装置。
IPC (6件):
F16F 15/02
, G01P 15/08
, H01L 21/027
, H01L 41/09
, H01L 41/12
, G01N 13/10
FI (6件):
F16F 15/02 A
, G01P 15/08 C
, H01L 41/12
, G01N 37/00 T
, H01L 21/30 503 F
, H01L 41/08 C
Fターム (16件):
3J048AA02
, 3J048AB11
, 3J048AC01
, 3J048AC08
, 3J048BA02
, 3J048BB10
, 3J048BC08
, 3J048BE02
, 3J048BE12
, 3J048CB07
, 3J048DA03
, 3J048EA13
, 5F046AA23
, 5F046DA04
, 5F046DB14
, 5F046DC14
引用特許:
審査官引用 (10件)
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免震装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-154509
出願人:トキコ株式会社
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免震機能付きアクティブ除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-072638
出願人:株式会社日立製作所
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免震床の三次元免震装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-094443
出願人:株式会社竹中工務店, オイレス工業株式会社
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免震装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-205786
出願人:株式会社ブリヂストン
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電子顕微鏡のアクティブ除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-004690
出願人:株式会社日立製作所
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精密除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-333119
出願人:株式会社大林組
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制振装置の制御方法及び制振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-087741
出願人:三井建設株式会社
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特開昭63-210433
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アクティブ除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-266581
出願人:昭和電線電纜株式会社
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免震装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-271002
出願人:トキコ株式会社
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