感光性材料、パターン形成方法、および電子部品の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-236047
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142799
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】環境安定性に優れ、短波長光に対して高い透明性を有するとともに、アルカリ現像により基板との密着性が高く、解像性の良好な微細パターンを形成し得る感光性材料を提供する。【解決手段】脂環式骨格および縮合多環式骨格の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂部分と、ジアゾ化合物部分とを含む感光性材料である。ジアゾ化合物部分は、アルカリ可溶性樹脂の側鎖に含まれていてもよく、樹脂部分とは別の成分として含有されていてもよい。

請求項（抜粋）：

脂環式骨格および縮合多環式骨格の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂部分と、ジアゾ化合物部分とを含む感光性材料。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/095 501 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/095 501 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 573

引用特許：

審査官引用 (13件)

ポジ型感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-098671 出願人：富士写真フイルム株式会社
レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-097140 出願人：日本ゼオン株式会社
特開平1-217453

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