放射線像変換パネルの製造方法および蒸着装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-003536
公開番号（公開出願番号）：特開2006-193545
出願日： 2005年01月11日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】放射線像変換パネルを蒸着で作製するときに突沸(スプラッシュ)による画像欠陥がない輝尽性蛍光体プレートを作製することを可能とする放射線像変換パネルの製造方法および該パネルの製造装置を提供する。【解決手段】内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置とを備えた蒸着装置を用い、気相堆積法により前記基板上に輝尽性蛍光体層を成長させる。前記ボート5は、該ボートの加熱により発生し、該ボート中に収容された蒸着原料11の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する蒸着原料粒子をカットする仕切板9を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

内部に基板を備えた真空チャンバーと、前記基板に対向する開口部を有し、蒸着原料を収容するボート、前記ボートを加熱する加熱装置を備えた蒸着装置を用い、気相堆積法により前記基板上に輝尽性蛍光体層を成長させる放射線像変換パネルの製造方法において、前記ボートは、前記ボートの加熱により発生する、前記ボート中に収容された蒸着原料の表面から前記基板に向けて直線的に飛行する蒸着原料粒子をカットする仕切板を備えることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。

IPC (5件)：

C09K 11/00 , C09K 11/02 , C09K 11/61 , C23C 14/24 , G21K 4/00

FI (5件)：

C09K11/00 B , C09K11/02 A , C09K11/61 , C23C14/24 A , G21K4/00 L

Fターム (53件)：

2G083AA03 , 2G083BB01 , 2G083DD02 , 2G083EE02 , 2G083EE10 , 4H001CA04 , 4H001CA08 , 4H001XA03 , 4H001XA09 , 4H001XA11 , 4H001XA17 , 4H001XA19 , 4H001XA35 , 4H001XA37 , 4H001XA39 , 4H001XA53 , 4H001XA55 , 4H001XA57 , 4H001XA58 , 4H001XA59 , 4H001XA60 , 4H001XA61 , 4H001XA62 , 4H001XA63 , 4H001XA64 , 4H001XA65 , 4H001XA66 , 4H001XA67 , 4H001XA68 , 4H001XA69 , 4H001XA70 , 4H001XA71 , 4H001YA39 , 4H001YA49 , 4H001YA55 , 4H001YA58 , 4H001YA59 , 4H001YA60 , 4H001YA62 , 4H001YA63 , 4H001YA64 , 4H001YA65 , 4H001YA66 , 4H001YA67 , 4H001YA68 , 4H001YA69 , 4H001YA70 , 4H001YA71 , 4K029BA31 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029DA12 , 4K029DB12

引用特許：

出願人引用 (4件)

Mgの蒸発方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-094333 出願人：日新製鋼株式会社
絶縁膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-073883 出願人：ソニー株式会社
有機材料薄膜の形成方法及びその装置、並びに有機電界発光素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-039408 出願人：ソニー株式会社

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審査官引用 (11件)

放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-343432 出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
放射線像変換パネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-107054 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開平4-372900

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