X線検査装置、X線検査方法およびX線検査装置の制御プログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：横井俊之 , 岩上渉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-040280
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251669
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】X線フラットパネルセンサの各検出素子から取得される輝度値にはばらつきが存在するため、小さな半田バンプを測定する際の精度を向上させることができなかった。【解決手段】所定のX線透過量とされた感度補正試料(標準試料)18にX線を照射し、多数の検出素子13cにて感度補正試料18を透過した透過X線の強度を検出し、検出した透過X線の強度に対応する補正用階調データを同多数の検出素子13c別に取得するとともに、当該補正用階調データに基づいて、所定強度のX線が照射された対象試料を透過した透過X線の強度に対応して取得される階調データを多数の検出素子13c別に補正する構成とした。対象試料をより精度よく測定することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対象試料に所定強度のX線を照射し、ドットマトリクス状に設けられた多数の検出素子にて同対象試料を透過した透過X線の強度を同検出素子別に検出し、検出した透過X線の強度に対応する階調データを同多数の検出素子別に測定するX線検査装置であって、所定のX線透過量とされた標準試料に上記X線を照射し、上記多数の検出素子にて同標準試料を透過した透過X線の強度を検出し、検出した透過X線の強度に対応する補正用階調データを同多数の検出素子別に取得するとともに、当該補正用階調データに基づいて、上記所定強度のX線が照射された対象試料を透過した透過X線の強度に対応して取得される階調データを上記多数の検出素子別に補正する素子別補正手段を具備することを特徴とするX線検査装置。

IPC (3件)：

G01N23/04 , G01B15/02 , H01L21/60

FI (3件)：

G01N23/04 , G01B15/02 A , H01L21/60 321Y

Fターム (36件)：

2F067AA28 , 2F067CC14 , 2F067GG04 , 2F067HH04 , 2F067HH12 , 2F067HH16 , 2F067JJ03 , 2F067KK06 , 2F067LL00 , 2F067LL03 , 2F067LL16 , 2F067RR12 , 2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA09 , 2G001DA10 , 2G001FA02 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001FA30 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA16 , 2G001KA20 , 2G001LA11 , 2G001NA07 , 2G001NA13 , 2G001NA17 , 2G001PA11 , 2G001PA13

引用特許：

審査官引用 (11件)

X線検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-050190 出願人：名古屋電機工業株式会社
X線撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-085844 出願人：松下電器産業株式会社
蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-145854 出願人：理学電機工業株式会社

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