真空容器、露光装置、及び検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-166489
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347582
出願日： 2004年06月04日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】収納されている装置に伝わりにくい真空容器を提供する。【解決手段】第1の部分9aと第2の部分9bとの間に絞り機構15を設けて、絞り機構15を介して第1の部分9aと第2の部分9bとを連通させるようにしている。このようにすると、レチクルチャンバ5、ウエハチャンバ7、高度真空容器8とチャンバ9とを切り離すことができ、かつ、絞り機構15により、第1の部分9aと第2の部分9bとの圧力差を保つことができる。レチクルチャンバ5、ウエハチャンバ7、高度真空容器8は、防震台11を介してしかチャンバ9と結合されていないので、ターボ分子ポンプ12、ドライポンプ13、ドライポンプ14の振動が伝わりにくくなっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

防振性を必要とする真空容器であって、高度の真空度を必要とする高度真空容器と、前記高度真空容器が必要とする真空度よりは低い真空度を必要とする低度真空容器が結合されており、これら高度真空容器と低度真空容器の双方を収納するチャンバを有し、当該チャンバは、前記高度真空容器に連通する第1の部分と、前記低度真空容器に連通する第2の部分に分けられ、前記第1の部分と前記第2の部分の間には絞り機構が設けられ、前記高度真空容器と低度真空容器は、防振構造体のみを介して前記チャンバに接続され、前記低度真空容器は、前記チャンバの第2の部分に連通しており、かつ、前記チャンバの前記第2の部分内の気体を排気するドライポンプと、前記チャンバの前記第1の部分内の気体を排気する、ドライポンプとターボ分子ポンプを直列接続した排気系を有することを特徴とする真空容器。

IPC (6件)：

H01L21/027 , F16F15/02 , F16F15/023 , G03F7/20 , H01J37/16 , H01J37/18

FI (8件)：

H01L21/30 541L , F16F15/02 M , F16F15/023 Z , G03F7/20 503 , G03F7/20 504 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01L21/30 531A

Fターム (16件)：

2H097BA10 , 2H097LA10 , 3J048AA01 , 3J048AA02 , 3J048AB05 , 3J048AC04 , 3J048AD05 , 3J048BE02 , 3J048DA01 , 3J048EA07 , 5C033KK05 , 5F046AA23 , 5F046GA14 , 5F056CB24 , 5F056EA12 , 5F056EA16

引用特許：

審査官引用 (7件)

定圧チャンバ、それを用いた照射装置、回路パターンの製造装置及び回路パターンの検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-087678 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ, キヤノン株式会社
荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-147312 出願人：日本電子株式会社
洗浄機能付き荷電ビーム装置および荷電ビーム装置の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-313715 出願人：株式会社東芝

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