特許
J-GLOBAL ID：200903052181845622
露光装置及び露光装置の調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012027
公開番号（公開出願番号）：特開2004-226520
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】主走査方向に対する2次元空間変調素子の傾斜角度を好ましい角度にした露光装置、及び、露光装置の調整方法を提供することを課題とする。【解決手段】露光装置142は、主走査方向に対して傾斜したDMD174を有する複数の露光ヘッド166mnを有する。各露光ヘッド166mnは、主走査方向に対するこのDMD174の傾斜角度を補正する傾斜角度補正機構を有する。また、露光装置142には、被露光面上のビーム位置とこのビームのピント位置とを測定するCCDカメラ180、XYステージ182、及びZステージ184が設けられている。露光装置142は、測定されたビーム位置及びピント位置に基づいて、傾斜角度補正機構により傾斜角度を補正する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
主走査方向に対して傾斜した2次元空間変調素子を有する露光ヘッドを1個以上備えた露光装置において、
前記露光ヘッドによって露光される被露光面上のビーム位置を測定する測定手段と、
前記測定手段による測定結果に基づいて、主走査方向に対する前記2次元空間変調素子の傾斜角度を補正する傾斜角度補正手段と、を有することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F7/207
, G02B26/08
, H01L21/027
G03F7/207 Z
, G02B26/08 E
, H01L21/30 529
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H097AA03
, 2H097AA04
, 2H097BA01
, 2H097CA06
, 2H097GB04
, 5F046BA07
, 5F046CB09
, 5F046DA14
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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