特許

J-GLOBAL ID：200903052213564841

プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

発明者： 西山 秀哉 ,  佐藤 岳彦 ,  片桐 一成 ,  高奈 秀匡 ,  中嶋 智樹 ,  仲野 是克 ,  堤崎 高司
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学 ,  本田技研工業株式会社
代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-218424
公開番号（公開出願番号）：特開2009-054359
出願日： 2007年08月24日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】プラズマ流のガス温度が低く、消費電力が小さいプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法を提供する。【解決手段】プラズマトーチ11は、互いに間隔を開けて設けられた第1電極21と第2電極23と、第1電極21と第2電極23との間に設けられた誘電体22とを有する。第1電極21は、円筒状を成し、接地される。第1電極21は、中心軸に沿って厚みを貫通して設けられた複数のスリット21aを有する。円筒状の誘電体22を第1電極21の内面に沿って設ける。第2電極23を誘電体22の内部に設ける。空気供給部は、第1電極21と第2電極23との間に空気を供給する。電源は、誘電体バリア放電を発生させて空気供給部から供給された空気をプラズマ化可能に、第1電極21と第2電極23との間に電圧を印加する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

プラズマトーチと空気供給部と電源とを有し、 前記プラズマトーチは互いに間隔を開けて設けられた第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた誘電体とを有し、 前記空気供給部は前記第1電極と前記第2電極との間に空気を供給するよう設けられ、 前記電源は誘電体バリア放電を発生させて前記空気供給部から供給された空気をプラズマ化可能に、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加するよう設けられていることを、 特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  C01B 13/11 ,  C01B 21/36 ,  B01J 19/08

FI (4件)：

H05H1/24 ,  C01B13/11 D ,  C01B21/36 G ,  B01J19/08 E

Fターム (13件)：

4G042CA01 ,  4G042CB24 ,  4G042CC03 ,  4G042CC20 ,  4G042CE02 ,  4G075AA02 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075EB43 ,  4G075EC21 ,  4G075EE02 ,  4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (4件)

• プラズマトーチ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-254453   出願人：株式会社アマダ
• プラズマトーチとプラズマジェットの発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-028801   出願人：富士通株式会社
• プラズマトーチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-127195   出願人：小池酸素工業株式会社
• 大気圧プラズマ噴流
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-534728   出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア, セルウィンゲアリーエス

審査官引用 (5件)

• プラスチック廃材の再資源化方法、プラスチック成形体の製造方法およびプラスチック成形体、ならびにプラスチック再資源化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-358682   出願人：シャープ株式会社, 国立大学法人東京工業大学
• 携帯型大気圧プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-022313   出願人：国立大学法人茨城大学, スターエンジニアリング株式会社
• プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-061779   出願人：学校法人東海大学
• プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-285112   出願人：株式会社ハイデン研究所
• 大気圧低温プラズマ装置と表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-136549   出願人：国立大学法人群馬大学