特許
J-GLOBAL ID:200903052492316534

自動合焦装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-073578
公開番号(公開出願番号):特開2000-266992
出願日: 1999年03月18日
公開日(公表日): 2000年09月29日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、合焦作業の簡単化を実現できる自動合焦装置を提供する。【解決手段】 対物レンズ6またはステージ7を光軸方向に移動し、この移動にともなうA/D変換器23aからのデジタル信号から合焦評価を行い、この結果に基づいてステージ7上の観察対象物8に対する合焦制御を行なうようになっていて、例えば観察対象物8を動かすためステージ7がXY方向に移動され、この状態をステージ移動検出部27が検出すると、この検出された観察対象物8の移動という要因が除去されるまで観察対象物8に対する合焦制御を一時停止させる。
請求項(抜粋):
対物レンズまたはステージを光軸方向に移動して前記ステージ上の観察対象物に対する合焦制御を自動的に行なう自動合焦動作手段と、合焦評価が不能または合焦ができなくなる要因を検出する要因検出手段と、この要因検出手段からの出力により前記要因が除去されるまで前記観察対象物に対する合焦制御を一時停止させる制御手段とを具備したことを特徴とする自動合焦装置。
IPC (2件):
G02B 7/28 ,  G02B 21/00
FI (3件):
G02B 7/11 N ,  G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J
Fターム (18件):
2H051AA11 ,  2H051AA15 ,  2H051BA37 ,  2H051DB08 ,  2H051DC05 ,  2H051DC20 ,  2H051EA01 ,  2H051EA02 ,  2H051EA03 ,  2H051EA04 ,  2H051EA05 ,  2H051EA08 ,  2H051EA10 ,  2H052AC30 ,  2H052AD09 ,  2H052AD16 ,  2H052AD33 ,  2H052AF25
引用特許:
出願人引用 (13件)
  • 測定顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-064768   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • オートフォーカス装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-204551   出願人:株式会社三協精機製作所, 日新工機株式会社
  • 特開昭61-261709
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審査官引用 (18件)
  • オートフォーカス装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-111827   出願人:株式会社ニコン
  • 自動焦点検出制御装置及び光学検査機械
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-059606   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-207387   出願人:株式会社島津製作所
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