欠陥分析システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287081
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090312
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】大量の被検査物から従来の知見では解決困難な新規な欠陥が発生している被検査物を効率的に選別することである。【解決手段】複数の被検査物において検出された欠陥の分析システムにおいて、被検査物における欠陥部位を検出する外観検査装置100を有する。また、前記欠陥部位における詳細情報を検出し、前記詳細情報に基づき、欠陥を、その出現を確認している既知欠陥と、その出現を確認していない新規欠陥とに分類する欠陥分類装置200を有する。さらに、被検査物の指定を受け付け、指定された被検査物を分析する欠陥分析装置300を有する。前記外観検査装置100、欠陥分類装置200、および欠陥分析装置300は、前記新規欠陥を含む分類毎の欠陥数を表示する表示装置を有することができる。

請求項（抜粋）：

複数の被検査物において検出された欠陥の分析システムであって、前記被検査物における欠陥部位を検出する外観検査手段と、前記欠陥部位における詳細情報を検出する詳細情報検出手段と、前記詳細情報に基づき、欠陥を、その出現を確認している既知欠陥と、その出現を確認していない新規欠陥とに分類する欠陥分類手段と、前記新規欠陥を含む分類毎の欠陥数を表示する表示手段と、被検査物の指定を受け付け、指定された被検査物を分析する欠陥分析手段と、を有することを特徴とする欠陥分析システム。

IPC (8件)：

G01N 21/956 , G01N 1/28 , G01N 1/32 , G01N 33/00 , G01N 35/00 , G06T 1/00 305 , G06T 1/00 , H01L 21/66

FI (10件)：

G01N 21/956 A , G01N 1/32 B , G01N 33/00 A , G01N 35/00 A , G01N 35/00 Z , G06T 1/00 305 A , G06T 1/00 305 C , H01L 21/66 J , H01L 21/66 S , G01N 1/28 G

Fターム (55件)：

2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051AC01 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2G051EA04 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB03 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC06 , 2G051FA01 , 2G058AA02 , 2G058BA08 , 2G058GA01 , 2G058GA11 , 2G058GD05 , 2G058GD07 , 4M106AA01 , 4M106BA03 , 4M106BA10 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106CA42 , 4M106CA43 , 4M106CA51 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB18 , 4M106DH31 , 4M106DH50 , 4M106DJ04 , 4M106DJ13 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 4M106DJ27 , 4M106DJ28 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC02 , 5B057CD02 , 5B057CE06 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DC03 , 5B057DC04 , 5B057DC33

引用特許：

審査官引用 (9件)

欠陥の分類方法およびその装置並びに教示用データ作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-225083 出願人：株式会社日立製作所
異物検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-179605 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開平3-018708

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