振動型ジャイロ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-252537
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062135
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】振動型ジャイロ装置の小型化を図る。【解決手段】基板30の表面と裏面の一方に振動型センサ素子31を配置し、他方に信号処理回路32を配置する。コリオリ力に起因した振動型センサ素子31の振動体の検出振動に応じた検出信号を通す第1検出用配線パターン34aと第2検出用配線パターン34bを振動型センサ素子31からそれぞれ逆向きに伸長形成する。振動型センサ素子31の振動体を駆動振動させるための互いに位相が180°異なる第1種駆動信号と第2種駆動信号をそれぞれ通す第1種駆動用配線パターン33aと第2種駆動用配線パターン33bを、配線パターン34a,33a間の容量C11と、配線パターン34a,33b間の容量C12と、配線パターン34b,33a間の容量C21と、配線パターン34b,33b間の容量C22とがほぼ等しいという容量条件を満たすように、配置形成する。

請求項（抜粋）：

振動体を備えた振動型センサ素子と、この振動体センサ素子に信号接続する信号処理回路とを有し、上記信号処理回路は、上記振動体を駆動振動させるための駆動信号を作り出して上記振動型センサ素子に供給する動作と、コリオリ力に起因した上記振動体の検出振動に応じる検出信号を信号処理する動作とを行う構成を有した振動型ジャイロ装置において、基板の表面と裏面の一方側に上記振動型センサ素子が配置され、他方側に上記信号処理回路が配置され、上記振動型センサ素子と信号処理回路はスルーホールを介して信号接続されていることを特徴とした振動型ジャイロ装置。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (9件)：

2F105AA10 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (7件)

角速度センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-111060 出願人：株式会社村田製作所
角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-140370 出願人：トヨタ自動車株式会社, 江刺正喜
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-108790 出願人：株式会社村田製作所

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