特許
J-GLOBAL ID：200903052810985505

熱剥離型粘着シートを使用する被着体の加工方法。

発明者：
佐藤 正明

佐藤 正明 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-199883
公開番号（公開出願番号）：特開2009-035609
出願日： 2007年07月31日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：
【課題】 被加工体を粘着シートにより固定して被加工体に対する加工を行う方法において、被加工体の表面が凹凸を有する場合であってもしっかりと被着体を固定し、正確な加工を行うことができ、加工終了後は被加工体を容易に粘着シートから剥離し、回収することができる被着体の加工方法を提供する。【解決手段】 基材の少なくとも片方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層を設けてなる熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する被着体の加工方法であって、上記熱膨張性粘着層表面の最大断面高さRtと被着体表面の最大断面高さRt′との関係がRt′≧Rtを満たし、かつRtが0.5〜12μmの範囲内であることを特徴とする被着体の加工方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の少なくとも片方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層を設けてなる熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する被着体の加工方法であって、上記熱膨張性粘着層表面の最大断面高さRtと被着体表面の最大断面高さRt′との関係がRt′≧Rtを満たし、かつRtが0.5〜12μmの範囲内であることを特徴とする被着体の加工方法。
IPC (3件)：
C09J 5/00 ,  C09J 7/02 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
C09J5/00 ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 M
Fターム (51件)：
4J004AA05 ,  4J004AA08 ,  4J004AA10 ,  4J004AA11 ,  4J004AA14 ,  4J004AA15 ,  4J004AA16 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004CA01 ,  4J004CA08 ,  4J004CB01 ,  4J004CB02 ,  4J004CC03 ,  4J004CD04 ,  4J004EA06 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040CA001 ,  4J040DB022 ,  4J040DC072 ,  4J040DD022 ,  4J040DD051 ,  4J040DF021 ,  4J040DF072 ,  4J040DK012 ,  4J040DN032 ,  4J040DN072 ,  4J040EC002 ,  4J040ED001 ,  4J040EF001 ,  4J040EF282 ,  4J040EG001 ,  4J040EJ032 ,  4J040EK001 ,  4J040HB03 ,  4J040JA02 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB09 ,  4J040KA05 ,  4J040KA16 ,  4J040KA23 ,  4J040KA42 ,  4J040LA06 ,  4J040MB03 ,  4J040NA19 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA29 ,  4J040PA42
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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