特許
J-GLOBAL ID:200903052819431430

液面検知方法及び液面検知装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-117767
公開番号(公開出願番号):特開2001-304938
出願日: 2000年04月19日
公開日(公表日): 2001年10月31日
要約:
【要約】【課題】 液面を正確に検知することができる液面検知方法及び液面検知装置を提供する。【解決手段】 ALC回路をオンにし(S1)、ノズルをサンプリング位置へ移動させ(S2)、ALC回路をオフにした後(S3)、ノズルの先端から空気の吐出を開始させる(S4)。ノズルを下降させながらノズルの内圧を監視し(S5,S6)、圧力の上昇を検出したとき、空気の吐出及びノズルの下降を停止させ(S7)、圧力の大きさの監視を続ける(S8)。圧力の大きさが許容変化量範囲内で所定時間の間にわたって継続したときはノズルの先端が真の液面に接触したと判断し、試料の吸引後(S9)、ノズルを上昇させる(S10)。圧力の大きさが所定時間の間に許容変化量範囲内を越えて下降したときはチップの先端は真の液面に接触していないと判断し、ノズルの下降を再開させる(S11)。
請求項(抜粋):
ポンプによりノズルの先端から気体を吸引又は吐出させながら前記ノズルを液面へ向けて下降させる下降ステップと、前記ノズルにつながる配管の内圧が変化したときに前記ポンプの吸引又は吐出及び前記ノズルの下降を停止させる検知ステップと、前記配管の内圧が許容変化量範囲内で所定時間以上継続したときに、前記ノズルの先端が液面に接触したと判断する判断ステップと、を含むことを特徴とする液面検知方法。
IPC (3件):
G01F 23/18 ,  G01N 35/10 ,  G05D 9/00
FI (3件):
G01F 23/18 ,  G05D 9/00 A ,  G01N 35/06 C
Fターム (11件):
2F014AA08 ,  2F014BA10 ,  2G058ED07 ,  2G058ED35 ,  2G058GB02 ,  2G058GB10 ,  5H309AA16 ,  5H309BB18 ,  5H309CC09 ,  5H309DD04 ,  5H309DD27
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (5件)
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