乾燥装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-181557
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003036
出願日： 2004年06月18日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】装置内の空間を乾燥前と後とに区切ることができ、乾燥後の洗浄物に微小な液滴や微粒子が浮遊して付着することを抑えて品質の低下を防止する乾燥装置を提供する。【解決手段】湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物1を乾燥させる装置で洗浄物1を装置10内で複数配列したローラ11により移送する途中に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段13を有した乾燥装置であって、この装置10内で洗浄物1を搬入して気体噴射手段13の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第1部屋10aと、洗浄物1が気体を吹き付けた後に移動して搬出されるまでの第2部屋10bとの各部屋間に延在し、洗浄物1が通過する気体噴射手段13の上下間の移送口13aを残して区切る仕切板12を設けるとともに、第2部屋10bに精密フィルタを介して清浄な空気を洗浄物1に向かって供給する空気供給部14を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物を乾燥させる装置で、該洗浄物を装置内で複数配列したローラにより移送する途中に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段を有した乾燥装置において、前記装置内で前記洗浄物を搬入して前記気体噴射手段の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第1部屋と、前記洗浄物が気体を吹き付けた後に移動して搬出されるまでの第2部屋との各部屋間に延在し、前記洗浄物が通過する前記気体噴射手段の上下間の移送口を残して区切る仕切板を設けるとともに、前記第2部屋に精密フィルタを介して清浄な空気を前記洗浄物に向かって供給する空気供給部を備えたことを特徴とする乾燥装置。

IPC (4件)：

F26B 13/04 , F26B 13/20 , F26B 21/00 , H01L 21/304

FI (5件)：

F26B13/04 , F26B13/20 , F26B21/00 C , H01L21/304 651G , H01L21/304 651L

Fターム (14件)：

3L113AA03 , 3L113AB02 , 3L113AC31 , 3L113AC45 , 3L113AC55 , 3L113AC67 , 3L113AC74 , 3L113AC83 , 3L113BA31 , 3L113BA34 , 3L113CB26 , 3L113CB39 , 3L113CB40 , 3L113DA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

付着液除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-004229 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (7件)

基板乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-151799 出願人：日本電気株式会社
板ガラスの洗滌乾燥機に於ける板ガラス搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-218062 出願人：株式会社白井鉄工所
乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-243188 出願人：株式会社日立製作所

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