特許
J-GLOBAL ID：200903053388665701

アクティブラスタ走査のエラー修正のための走査ビームステアリングミラーアセンブリ

発明者：
ティモシー ディー ストウィ

ティモシー ディー ストウィ について


出願人/特許権者：
パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド

パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-325177
公開番号（公開出願番号）：特開2009-151312
出願日： 2008年12月22日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】走査光学システムにおける走査線の位置エラーを解決する。【解決手段】駆動電極36,38が形成された基板34と、その隣接端が片持ち式に接着され、その遠方端と基板34との間に空間を形成するように基板34上に配置され、駆動電極36,38から供給される高電圧によって基板34に対して接近したり離反したりするように自由に回転する積層圧電性曲げアクチュエータ32と、曲げアクチュエータ32の遠方端に複数の柱42を介して装着されるミラー構造体30と、を有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
走査光学システムにおいて使用する走査ビームステアリングミラーアセンブリであって、当該アセンブリは、 駆動電極が形成された基板と、 積層された圧電性曲げアクチュエータと、 を有し、 前記積層された圧電性曲げアクチュエータはその隣接端において片持ち式に前記基板に接着され、 前記積層された圧電性曲げアクチュエータの第1の層が前記駆動電極と電気接触し、 前記積層された圧電性曲げアクチュエータの遠方端は、前記遠方端と前記基板との間に空間を形成するように前記基板上にこれに接触することなく配置され、前記遠方端は、前記積層された圧電性曲げアクチュエータの第1の層に適用される電圧電位に応じて前記基板に対して接近したり離反したりするように自由に回転し、前記回転によって前記空間の寸法を変化させ、 第1の反射面と第2の装着面とを有するミラー構造体であって、前記第2の装着面には複数の装着柱が形成され、前記ミラー構造体が前記装着柱において前記積層された圧電性曲げアクチュエータの遠方端に装着されるミラー構造体を更に有する、 走査ビームステアリングミラーアセンブリ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/12 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G02B26/10 F ,  G02B26/10 103 ,  B81B3/00
Fターム (18件)：
2H045AA01 ,  2H045BA02 ,  2H045CA43 ,  2H045CA83 ,  2H045CA95 ,  2H045DA12 ,  2H045DA14 ,  2H045DA26 ,  3C081AA01 ,  3C081BA04 ,  3C081BA28 ,  3C081BA43 ,  3C081BA46 ,  3C081BA48 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11
引用特許：
出願人引用 (10件)
  • 米国特許第5018808号明細書
  • 欧州特許出願公開19990928982
  • 米国特許第5287125号明細書
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM