特許

J-GLOBAL ID：200903053593597182

研磨クロス

発明者： 加藤 宏樹 ,  山本 恵司 ,  宮本 一隆 ,  濱田 繁治
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-110686
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307293
出願日： 2001年04月09日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 ロールオフを小さくしながら、研磨クロスの寿命を長くすることができる研磨クロスを提供すること。【解決手段】 研磨クロス1は、厚みが0.2〜2.0mmであり、弾性圧縮率が50〜4%である表面層11と、表面層11の裏面側に積層されており、厚みが0.2〜2.0mmであり、弾性圧縮率が2〜0.1%である中間支持層12と、中間支持層12の裏面側に積層されており厚みが0.15〜2.0mmであり、弾性圧縮率が50〜4%である裏面層13と、を有している。

請求項（抜粋）：

厚みが0.2〜2.0mmであり、弾性圧縮率が50〜4%である表面層と、該表面層の裏面側に積層されており、厚みが0.2〜2.0mmであり、弾性圧縮率が2〜0.1%である中間支持層と、該中間支持層の裏面側に積層されており、厚みが0.15〜2.0mmであり、弾性圧縮率が50〜4%である裏面層と、を有する研磨クロス。

IPC (7件)：

B24B 37/00 ,  B32B 7/02 101 ,  B32B 27/36 ,  B32B 27/40 ,  C08J 5/14 CFF ,  H01L 21/304 622 ,  C08L 75:04

FI (7件)：

B24B 37/00 C ,  B32B 7/02 101 ,  B32B 27/36 ,  B32B 27/40 ,  C08J 5/14 CFF ,  H01L 21/304 622 F ,  C08L 75:04

Fターム (24件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071BC01 ,  4F071BC02 ,  4F071DA19 ,  4F100AK42B ,  4F100AK51A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA26 ,  4F100DG15C ,  4F100GB41 ,  4F100GB90 ,  4F100JK07A ,  4F100JK07B ,  4F100JK07C ,  4F100JL00 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 基板を平坦化するための研磨工具および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-219234   出願人：キヤノン株式会社
• 研磨テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-330806   出願人：日本ミクロコーティング株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-243957   出願人：三菱電機株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-267439   出願人：東洋紡績株式会社
• 特許第2891083号
  
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-252832   出願人：東洋紡績株式会社
• 特許第2891083号
  
• 特許第2891083号
  
• 仕上げ研磨用研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-148888   出願人：ニッタ・ハース株式会社