原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：川井治男 (外1名) , 川井治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347859
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155085
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】従来のAMF装置に組み込んで、独立に第二の電極となるプローブ探針17を試料5上で正確に位置決めすることができ、また、試料に対する加工や取り扱いに利用することができるプローバ及びそのようなプローバをもつ原子間力顕微鏡を提供すること【解決手段】原子間力顕微鏡の試料台4の表面上に位置決め可能な探針17と前記探針を前記試料台の表面に沿って移動させる駆動装置14と前記探針を前記試料台の表面に垂直な方向に移動させる駆動装置15とを備えること

請求項（抜粋）：

原子間力顕微鏡の試料台の表面上に位置決め可能な探針と前記探針を前記試料台の表面に沿って移動させる駆動位置と前記探針を前記試料台の表面に垂直な方向に移動させる駆動装置とを備えることを特徴とする原子間力顕微鏡用プローバ

IPC (3件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , H01J 37/20

FI (4件)：

G01N 37/00 G , G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/20 Z

Fターム (16件)：

2F069AA60 , 2F069DD19 , 2F069GG01 , 2F069GG58 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069JJ08 , 2F069JJ14 , 2F069LL03 , 2F069MM32 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C001CC08

引用特許：

審査官引用 (6件)

電圧測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049709 出願人：富士通株式会社
ウェーハプロービング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-075031 出願人：山形日本電気株式会社
特開昭64-073632

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