静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-177537
公開番号（公開出願番号）：特開2005-012144
出願日： 2003年06月23日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】液晶基板のような絶縁性基板は、半導体基板に用いられるシリコンウエハのような導体、あるいは半導体のように電気的な導電性がない為、高電圧を印可しても大きな吸着力であるグラディエント力を得ることが難しく、絶縁性の基板を吸着させようとしても十分な吸着力が得られないという問題があった。【解決手段】吸着電極の上面を覆うように絶縁層を形成した静電チャックにおいて、上記吸着電極は独立した複数の吸着電極からなり、上記の独立した吸着電極が対向する領域で該吸着電極から等距離にある中間線の密度を500〜5000/mで、該中間線を挟む上記吸着電極の帯の幅は前記中間線を挟む吸着電極の帯同士の間隔と同等或いは小さく、かつ上記該中間線を均一に分布させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸着電極の上面を覆うように絶縁層を形成した静電チャックにおいて、上記吸着電極は独立した帯状の複数の吸着電極からなり、上記の独立した吸着電極が対向する領域で該吸着電極から等距離にある中間線の密度が500〜5000/mで、該中間線を挟む上記吸着電極の帯の幅は前記中間線を挟む吸着電極の帯同士の間隔と同等或いは小さく、かつ上記中間線がほぼ均一に分布していることを特徴とする静電チャック。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 R

Fターム (13件)：

2H088FA17 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JB02 , 2H090JB11 , 2H090LA01 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA18 , 5F031HA19 , 5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (9件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-148780 出願人：東陶機器株式会社
吸着装置、真空処理装置及び吸着装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-328761 出願人：株式会社アルバック
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-019344 出願人：京セラ株式会社

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