液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176767
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010062
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】位置ずれすることなく、十分な力で基板の変形を残さず平滑な状態で吸着固定することができる液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置を提供する。【解決手段】絶縁性基板5をステージ1上に載置すると同時に、予め作動しているブロワ16の弁15をONにして、第2の吸着口3を通して吸着力を絶縁性基板5に作用させる。次に、真空ポンプ10および切換弁9を作動させて、第1の吸着口2の第1の領域2a、次いで第1の領域2aおよび第2の領域2b、さらに第1の領域2a、第2の領域2bおよび第3の領域2cを通して吸着力を絶縁性基板5の中央部のほぼ全領域に作用させる。このようにして、絶縁性基板5の変形が順次非吸着領域に移り、最後に外周部近傍に集められ、このタイミングでブロワ16の弁15をOFFにして、第2の吸着口3からの外周部近傍に作用する吸着力を解除する。

請求項（抜粋）：

複数の吸着口が開口する平坦な載置面を有する載置台上に、前記吸着口を通して吸着力を作用させて絶縁性基板を固定し、前記絶縁性基板に各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法において、前記絶縁性基板の中央部を吸着固定する第1の吸着口と、前記第1の吸着口の周囲を囲むように前記絶縁性基板の外周部近傍を吸着固定する第2の吸着口と、によって前記絶縁性基板に吸着力を作用させ、前記絶縁性基板を固定して各種の処理を施すことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (2件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

Fターム (11件)：

2H088FA02 , 2H088FA03 , 2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA03 , 2H088MA20 , 2H090HC06 , 2H090HC18 , 2H090JB02 , 2H090MB02

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-324818
基板吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-232826 出願人：株式会社日立製作所
大型ガラス基板のエア吸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346300 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

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