特許
J-GLOBAL ID：200903053964311252
ウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-192099
公開番号（公開出願番号）：特開2007-276113
出願日： 2007年07月24日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】ウェハ処理装置で正常位置に対してどの方向に位置ずれが生じても確実に位置ずれを検出でき、少数の光学的センサを用いて検出できるウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法を提供する。【解決手段】このウェハ位置ずれ検出装置は、伸びと縮みを行うアーム機構部、アーム機構部の先部の把持プレート37、アーム機構部を回転させる回転機構部、回転機構部等を支持するベース、ベースの上に位置不変の第1および第2の光センサ13,14を備えたロボットアーム12を有する。ウェハ17が第1の位置にあるときにおける、第1の光センサによる検出結果と第2の光センサによる検出結果との第1の組合せ結果と、ウェハが第2の位置にあるときにおける、第1の光センサによる検出結果と第2の光センサによる検出結果との第2の組合せ結果とに基づいてウェハの位置ずれの有無を判定する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
伸びと縮みの動作を行うアーム機構部と、
前記アーム機構部の先部に取り付けられ、かつウェハを載置する把持プレートと、
前記アーム機構部を回転させる回転機構部と、
前記回転機構部および前記アーム機構部を支持するベースと、
前記ベースの上に位置不変の第1および第2の光センサと、
を備えたロボットアームを有し、
前記ウェハが第1の位置にあるときにおける、前記第1の光センサによる検出結果と前記第2の光センサによる検出結果との第1の組合せ結果と、
前記ウェハが第2の位置にあるときにおける、前記第1の光センサによる検出結果と前記第2の光センサによる検出結果との第2の組合せ結果と、
に基づいて前記ウェハの位置ずれの有無を判定することを特徴とするウェハ位置ずれ検出装置。
IPC (3件)：
B25J 19/02
, H01L 21/68
, H01L 21/677
B25J19/02
, H01L21/68 F
, H01L21/68 A
3C007AS24
, 3C007BS15
, 3C007KS05
, 3C007KV11
, 3C007KX05
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031JA02
, 5F031JA27
, 5F031JA36
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031NA05
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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