特許
J-GLOBAL ID：200903054019347298

電気的接続装置

発明者：
庄 雅彦

庄 雅彦 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (2件)： 松永 宣行 ,  小合 宗一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-317073
公開番号（公開出願番号）：特開2007-121223
出願日： 2005年10月31日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】被検査体の温度変化による所定位置からの各プローブの先端のずれを確実に防止し得る電気的接続装置を提供する。【解決手段】テスタに接続された複数の電気接続部が一方の面に形成された基板と、基端がそれぞれに対応する電気接続部に接続され、先端が被検査体の電極パッドに当接される複数のプローブと、プローブを基板に保持するための保持板とを含む。保持板は、プローブの基端を対応する電気接続部に位置決めるための貫通孔が形成されたベース板部材と、貫通孔に整合しプローブの先端を対応する被検査体の電極パッドに位置決めるための貫通孔が形成されたガイド板部材とを備える。ガイド板部材は、その中央部でベース板部材に連結され、この中央部を除く部分の熱伸縮に伴うベース板部材に沿った伸縮が自在であり、被検査体の熱伸縮にほぼ等しい熱伸縮を示す。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査体の電気的検査のために前記被検査体に設けられた電極パッドとテスタとを接続する電気的接続装置であって、前記テスタに接続される配線路が設けられ、該配線路を経て前記テスタに接続される複数の電気接続部が一方の面に形成された基板と、基端がそれぞれに対応する前記電気接続部に電気的に接続され、先端が前記被検査体の電極パッドに当接される複数のプローブと、前記基板の前記一方の面に配置され、前記プローブを前記基板に保持するための保持板とを含み、該保持板は、一方の面が前記基板の前記一方の面に向き合うように該基板に沿って配置され、前記プローブの前記基端を対応する前記電気接続部に位置決める貫通孔が形成されたベース板部材と、前記貫通孔に整合し前記プローブの前記先端を対応する前記被検査体の前記電極パッドに位置決める貫通孔が形成され、前記ベース部材の他方の面に沿って配置されたガイド板部材とを備え、該ガイド板部材は、その中央部で前記ベース板部材に連結され、前記中央部を除く部分の前記ベース板部材に沿った熱伸縮が自在であり、前記被検査体の熱伸縮に伴いその熱伸縮量にほぼ等しい熱伸縮量を示すことを特徴とする、電気接続装置。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01R1/073 D ,  G01R1/067 C ,  G01R1/067 B ,  H01L21/66 B ,  H01L21/66 H
Fターム (17件)：
2G011AA09 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106CA27 ,  4M106CA31 ,  4M106CA56 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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