検出センサ、振動子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：大場充 , 堀川美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061123
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240252
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】より高感度化を図ることのできる検出センサ、振動子を提供することを目的とする。【解決手段】貫通孔60や凹部を振動子30に形成し、その表面積を増大させることによって、振動子30の検出感度を向上させ、検出センサ10の高感度化を図る。このとき、貫通孔60は、一辺の長さがaの正方形で、開口面積A(=a2)、開口周長C(=4a)としたときに、貫通孔60を形成することによる振動子30の表面積変化量が正となる条件 p((CT/(2A))-1)>0を満足するように、空孔率p、開口面積A、開口周長Cを設定するのが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化する振動子と、前記振動子を振動させる駆動部と、前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、を備え、前記振動子に、その表面積を増大させるための孔、凹部、凸部の少なくとも一種が形成されていることを特徴とする検出センサ。

IPC (2件)：

G01G 3/16 , G01N 5/02

FI (2件)：

G01G3/16 , G01N5/02 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

質量検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-123049 出願人：日本碍子株式会社
窒素酸化物ガスセンサ用感応薄膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-279640 出願人：三菱電機株式会社
化学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-233310 出願人：三菱電機株式会社, 高井治, 杉村博之, 呉雲影

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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