表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-080010
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241360
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】外部からのパーティクルの浸入、駆動部からのパーティクルの巻込みを防止し、表面検査部の雰囲気を清浄に維持し、基板の汚染を防止、更に検査の信頼性を向上させる。【解決手段】光照射による表面検査部1と、基板回転用モータ4を含む駆動部と、表面検査部及び駆動部用の制御部13と、表面検査部、駆動部、表面検査装置の駆動関連部30と、表面検査部、駆動部、制御部、駆動関連部を収納する筐体15を具備し、筐体は仕切板25で表面検査部収納空間26と格納部28とに仕切り、表面検査部収納空間に表面検査部を収納し、格納部に駆動部、制御部、駆動関連部を収納し、天板17にクリーンユニット35を設け、仕切板に検査部ファン36を設け、クリーンユニットは表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、検査部ファンは表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して格納部に吐出し、表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流を形成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板に検査光を照射して基板表面の検査を行う表面検査部と、前記基板を回転させるモータを含む駆動部と、前記表面検査部及び前記駆動部を制御する制御部と、前記表面検査部、前記駆動部、表面検査装置を動作させる為の駆動関連部と、前記表面検査部、前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部を収納する筐体とを具備し、該筐体内部は仕切板によって上方の表面検査部収納空間と下方の格納部とに仕切られ、前記表面検査部収納空間に前記表面検査部が収納され、前記格納部に前記駆動部、前記制御部、前記駆動関連部が収納され、前記筐体の天板にクリーンユニットが設けられ、前記仕切板に検査部ファンが設けられ、前記クリーンユニットは前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、前記検査部ファンは前記表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して前記格納部に吐出し、前記表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流れが形成される様構成したことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A , H01L21/66 J

Fターム (14件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051BA10 , 2G051BC01 , 2G051CA08 , 2G051CB05 , 2G051DA03 , 2G051DA08 , 2G051DA17 , 2G051EA11 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA41 , 4M106DB30

引用特許：

出願人引用 (6件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-181136 出願人：株式会社トプコン
特開平2-073141
基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-137496 出願人：オリンパス株式会社

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