特許
J-GLOBAL ID：200903046999801469

表面検査装置

発明者：
磯崎 久

磯崎 久 について

, 
松田 正則

松田 正則 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-181136
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130809
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：
【要約】【課題】表面検査装置の較正工程で人手を介在させることなく、検査効率の向上を図る。【解決手段】搬送ロボット17を有するウェーハ搬送部1と、表面検査部とを具備する表面検査装置に於いて、既知の粒子が付着された較正用ウェーハを収納する較正用ウェーハ収納部29を設けた。
請求項（抜粋）：
搬送ロボットを有するウェーハ搬送部と、表面検査部とを具備する表面検査装置に於いて、既知の粒子が付着された較正用ウェーハを収納する較正用ウェーハ収納部を具備したことを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/93 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/93 ,  H01L 21/66 J
Fターム (34件)：
2F065AA26 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD00 ,  2F065DD13 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065MM04 ,  2F065RR07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AC04 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106DB20
引用特許：
出願人引用 (11件)
  • 検査装置及び検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-175890   出願人：ソニー株式会社
  • クリーン度の高い検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338230   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 特開平3-123050
全件表示
審査官引用 (9件)
  • 検査装置及び検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-175890   出願人：ソニー株式会社
  • 特開平3-123050
  • クリーン度の高い検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338230   出願人：東京エレクトロン株式会社
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM