特許
J-GLOBAL ID:200903055381322976
磁気抵抗効果膜およびそれを用いたメモリ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金田 暢之 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-311323
公開番号(公開出願番号):特開2003-124539
出願日: 2001年10月09日
公開日(公表日): 2003年04月25日
要約:
【要約】【課題】 サブミクロンサイズ以下の微小サイズの磁気抵抗効果膜、特に最小加工寸法の磁気抵抗効果膜を提供し、さらにこの磁気抵抗効果膜を用いたメモリ素子を提供する。【解決手段】 磁気抵抗効果膜の構成要素である磁性体111、112において、磁性体は垂直磁化を示し、磁気抵抗効果膜の積層方向から磁性体を見た形状が、磁性体の幅に対する長さの比が0.77以上1.30以下の範囲内で有り、かつ長さと幅がどちらも1μm未満となる構成である。
請求項(抜粋):
磁気抵抗効果膜の構成要素である磁性体において、磁性体は垂直磁化を示し、磁気抵抗効果膜の積層方向から磁性体を見た形状が、磁性体の幅に対する長さの比が0.77以上1.30以下の範囲内で有り、かつ長さと幅がどちらも1μm未満であることを特徴とする磁気抵抗効果膜。
IPC (7件):
H01L 43/08
, G11C 11/14
, G11C 11/15
, H01F 10/16
, H01F 10/30
, H01F 10/32
, H01L 27/105
FI (9件):
H01L 43/08 P
, H01L 43/08 Z
, G11C 11/14 A
, G11C 11/14 E
, G11C 11/15
, H01F 10/16
, H01F 10/30
, H01F 10/32
, H01L 27/10 447
Fターム (13件):
5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AA09
, 5E049AC00
, 5E049AC05
, 5E049BA06
, 5E049CB02
, 5E049DB02
, 5F083FZ10
, 5F083GA09
, 5F083LA03
, 5F083MA06
, 5F083MA19
引用特許:
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