特許
J-GLOBAL ID：200903055441869708
サンドブラスト装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088030
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：
【要約】【課題】 研磨砂を噴射するノズルを基板進行方向と垂直方向に移動させながら、サンドブラスト処理を行うPDP用のサンドブラスト装置で、品質面、量産面にも対応できるサンドブラスト装置を提供する。【解決手段】 処理基板に対し、その処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、ノズルは、研磨砂を噴射する開口をスリット状とするスリットノズルで、スリットの長手幅方向を基板進行方向と交叉する方向に配置されており、処理基板位置を移動させて処理を行うものである。更に各ブラストノズル位置を固定し、基板進行方向に複数列にして、且つ、各列にスリットの幅方向を揃えて複数個づつ、ブラストノズルを設けている。
請求項（抜粋）：
処理基板に対し、その処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから噴射して、吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、ブラストノズルは、研磨砂を噴射する開口をスリット状とするスリットノズルで、スリットの長手幅方向を基板進行方向と交叉する方向に配置されており、処理基板位置を移動させて処理を行うものであることを特徴とするサンドブラスト装置。
IPC (5件)：
B24C 3/12
, B24C 1/04
, B24C 5/04
, H01J 9/02
, H01J 11/02
B24C 3/12
, B24C 1/04 B
, B24C 5/04 A
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA31
, 5C040MA23
, 5C040MA26
