特許
J-GLOBAL ID：200903055613493730

研磨終点検出方法

発明者：
矢内 昭夫

矢内 昭夫 について

, 
松下 治

松下 治 について

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藤田 隆

藤田 隆 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-137114
公開番号（公開出願番号）：特開2009-283868
出願日： 2008年05月26日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】所定の膜を所望の膜厚を研磨終点として該研磨終点を初期膜厚の差によらず、またスラリー等の影響を受けることなく安定して且つ、精度よく検出する研磨終点検出方法を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、所定の膜からの反射光を各波長ごとに分光する第1のステップと、反射光を各波長ごとの反射率に換算する第2のステップと、各基準波長幅における反射率の変化量をそれぞれ算出する第3のステップと、各反射率の変化量を評価波長範囲にわたって平均し一定波長域ごとの反射率変化度合いの平均値を求める第4のステップと、研磨の進行に伴って一定波長域ごとの反射率変化度合いの平均値波形に生じる特徴的な変化P、Qを基に研磨終点を検出する第5のステップとを有する研磨終点検出方法を提供するものである。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
研磨中の所定の膜に光を照射し、その反射光を基に前記所定の膜の研磨状態をモニタする研磨終点検出方法であって、 前記所定の膜からの反射光を各波長ごとに分光する第1のステップと、前記反射光を各波長ごとの反射率に換算する第2のステップと、各基準波長幅における前記反射率の変化量をそれぞれ算出する第3のステップと、前記各反射率の変化量を評価波長範囲にわたって平均し一定波長域ごとの反射率変化度合いの平均値を求める第4のステップと、研磨の進行に伴って前記一定波長域ごとの反射率変化度合いの平均値波形に生じる特徴的な変化を基に研磨終点を検出する第5のステップとを有することを特徴とする研磨終点検出方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/04
FI (2件)：
H01L21/304 622S ,  B24B37/04 K
Fターム (5件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058BA01 ,  3C058BB01 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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