特許
J-GLOBAL ID：200903056130631828
マイクロミラーおよびその製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065070
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267956
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 高速かつ広角度に変位可能なマイクロミラーおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 ヒンジ部13の可動部分13Aから固定部分13Bにかけての表側の面には、不純物例えばリン(P)を含む多結晶シリコン膜15が、また、ヒンジ部13の可動部分13Aの裏側の面には、アルミニウム(Al)膜16が形成されている。これにより、多結晶シリコン膜15とアルミニウム膜16とが窒化シリコンからなるヒンジ部13を挟んでバイモルフ構造を構成している。多結晶シリコン膜15に通電すると、多結晶シリコンのジュール熱によりヒンジ部13が加熱され、その結果、多結晶シリコン膜15とアルミニウム膜16との両方が熱膨張し、可動部分13Aとともにミラー部12が変位する。ミラー部12はヒンジ部13に対して傾斜しているので、先端のミラー部12に一層大きな角度変位を得ることができる。
請求項（抜粋）：
入射光を偏向させるためのマイクロミラーであって、反射膜を備えたミラー部と、少なくとも2種類の材料の熱膨張率の差を利用したバイモルフ構造を有し、前記ミラー部の入射光に対する相対的な角度を変化させる駆動手段とを備えたことを特徴とするマイクロミラー。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/10 104
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/10 104 Z
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC07
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB16
, 2H045AB73
