特許
J-GLOBAL ID：200903056184812720

チップ検査方法及び装置

発明者：
池ヶ谷 款治

池ヶ谷 款治 について

, 
伊藤 隆

伊藤 隆 について

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石井 孝明

石井 孝明 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-301929
公開番号（公開出願番号）：特開2002-109515
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：
【要約】【課題】 観察光学系の1つの視野内の複数チップのすべてが良品でない場合であっても効率的に検査でき、かつ、観察光学系のディストーション(歪曲収差)に起因する問題を解消できるチップ検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 被検査物の表面に微細パターンとして形成された複数のチップを検査するチップ検査方法及び装置において、観察光学系の1つの視野を複数のエリアに分割し、所定の良品チップを各エリアに順次配置して、各エリアの位置でその所定の良品チップの画像データを取込む。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に微細パターンとして形成された複数のチップを検査するチップ検査方法において、観察光学系の1つの視野を前記チップ1つに対応した複数のエリアに分割し、所定の良品チップを各エリアに順次配置して、各エリアの位置でその所定の良品チップの画像データを取込むことを特徴とするチップ検査方法。
IPC (4件)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/00 H ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J
Fターム (55件)：
2F065AA01 ,  2F065AA18 ,  2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC19 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ12 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08 ,  2F065SS14 ,  2F065TT03 ,  2G051AA51 ,  2G051AC21 ,  2G051BB00 ,  2G051BB19 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC00 ,  2G051CC20 ,  2G051DA01 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DA15 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057BA23 ,  5B057CC03 ,  5B057CE09 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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