フッ素含有石英ガラス、その製造方法、及び投影露光装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221248
公開番号（公開出願番号）：特開平10-067521
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】従来、フッ素を含有、水酸基や水素分子を含有させることにより、紫外線照射に対する耐久性を得ようとする試みがなされているが、熱処理なしにはフッ素、水酸基、水素を同時に存在させることはできない。【解決手段】原料ガスが流出される円状管あるいはそれに隣接したリング状管からF含有ガスを流出することにより、熱処理なしにフッ素、水酸基、及び水素分子を共存させた石英ガラスが得られる。

請求項（抜粋）：

バーナからSi含有ガスと支燃性ガスと可燃性ガスとを噴出し、ターゲット上に石英ガラス粉を堆積しガラス化させる石英ガラスの製造方法において、前記バーナからフッ素含有ガスを噴出することを特徴とするフッ素含有石英ガラスの製造方法。

IPC (4件)：

C03B 8/04 , C03B 19/14 , C03B 20/00 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

C03B 8/04 , C03B 19/14 , C03B 20/00 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-134531
特開昭59-232934
合成石英ガラス部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091555 出願人：信越化学工業株式会社

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