電子ビームフィラメントおよびこれを用いた表面分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山道夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-129488
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312987
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】高い分解能を有する電子ビームフィラメントを用い、分析対象となる試料表面の原子を精度よく識別することができる表面分析装置を提供する。【解決手段】高い分解能を有する電子ビームeを発生する電子ビームフィラメント11と、電子ビームフィラメント11に対して正極(+極性)のアノード電圧VBが印加されたアノード12と、試料13を透過または試料13から反射した電子ビームeの所定エネルギー範囲にあるもののみを通すエネルギー分析器14と、エネルギー分析器14を通過した電子ビームeのエネルギー分布を測定する電子検出器15とを備えた表面分析装置10。

請求項（抜粋）：

正の電圧を印加したアノードに向かって電子ビームを放出する電子ビームフィラメントにおいて、 Al<SB>x</SB>B<SB>y</SB>Ga<SB>1-x-y</SB>N(0<x≦1、0<y≦1)を電子ビームフィラメント材とすることを特徴とする電子ビームフィラメント。

IPC (5件)：

H01J 37/073 , G01N 23/225 , H01J 1/30 , H01J 1/304 , H01J 37/252

FI (5件)：

H01J 37/073 , G01N 23/225 , H01J 37/252 Z , H01J 1/30 A , H01J 1/30 F

Fターム (18件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001EA03 , 2G001EA04 , 2G001GA01 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001JA08 , 2G001KA01 , 2G001PA12 , 5C030BB02 , 5C030CC02 , 5C033RR02 , 5C035BB01 , 5C035BB05 , 5C035BB09

引用特許：

審査官引用 (10件)

電子放出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-006587 出願人：住友電気工業株式会社, 杉野隆, 白藤純嗣
微小冷陰極管とその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-236046 出願人：株式会社東芝
電界放射型素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-227469 出願人：株式会社豊田中央研究所

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