特許
J-GLOBAL ID：200903057824486449
エッチング用組成物及びエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-202260
公開番号（公開出願番号）：特開2007-318057
出願日： 2006年07月25日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】窒化ケイ素のエッチング用組成物に対して、高温でも酸化ケイ素に対する窒化ケイ素のエッチング選択比が低下せず、長期間安定に用いられるリン酸系のエッチング用組成物を提供する。【解決手段】リン酸及びヘキサフルオロケイ酸塩を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物、或いはリン酸、アンモニア、ヘキサフルオロ珪酸及び/又はその塩を含んでなるエッチング用組成物では、高温で用いた場合、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素のエッチング選択比が長期間安定に維持される。リン酸が70〜99重量%、ヘキサフルオロ珪酸塩が0.01〜0.5重量%が好ましく、ヘキサフルオロケイ酸塩がヘキサフルオロケイ酸水素アンモニウム及び/又はヘキサフルオロケイ酸アンモニウムが好ましい。さらに硝酸、又は硝酸アンモニウム、モリブデン酸塩、モリブデン酸、タングステン酸塩、タングステン酸の群から選ばれるいずれか1種以上をさらに含んでもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
リン酸及びヘキサフルオロケイ酸塩を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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