特許
J-GLOBAL ID:200903057988619520

光導波路及びその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 稲垣 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-313326
公開番号(公開出願番号):特開2000-137129
出願日: 1998年11月04日
公開日(公表日): 2000年05月16日
要約:
【要約】【課題】 偏向依存性及び過剰損失が小さく、工程が簡単で、低コストで量産が可能な、スポットサイズ変換部付き光導波路に最適な光導波路及びその作製方法を提供する。【解決手段】 本光導波路10は、基板3上にコア1およびクラッド4、5を有し、コア1の先端部2の幅及び厚さがコアの先端に向かって幅方向及び厚さ方向にテーパー状に縮小している。コア先端部がスポットサイズ変換部2として機能する。光導波路10を作製するには、コアの一部を除去して段差を形成する段差形成工程と、段差上に薄膜を堆積し、段差を滑らかな斜面に成形する斜面成形工程とを少なくとも有する。本方法は、光ファイバとの結合部のスポットサイズを簡便な方法で拡大できるため、小型かつ低損失な光導波路デバイスを低コストで製造することができる。
請求項(抜粋):
基板上にコアおよびクラッドを有する光導波路において、前記コアの先端部の幅及び厚さの双方が、コアの先端に向かってテーパー状に縮小してることを特徴とする光導波路。
IPC (3件):
G02B 6/122 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/12
FI (3件):
G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N
Fターム (11件):
2H047KA04 ,  2H047KA13 ,  2H047MA05 ,  2H047PA05 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047TA01 ,  2H047TA32 ,  2H047TA43
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (3件)

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