特許
J-GLOBAL ID：200903058405715272

回路パターンの検査装置

発明者：
奈良 安彦

奈良 安彦 について

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大沼 浩

大沼 浩 について

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早川 功一

早川 功一 について

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広井 高志

広井 高志 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026643
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229462
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】レシピの作成、画像の比較表示、検査領域の設定などを使い勝手よく、かつ迅速に行う回路パターンの検査装置を提供する。【解決手段】回路パターンの検査装置1は、作成したレシピを複数のウェーハに適用して検査を実施する場合に、ウェーハを入れたカセットのグラフィックな画面表示上で、カセットの棚番から他の棚番に対してレシピの複写を行なう。また、他の検査装置で検査された欠陥情報ファイルを読み込み、その内容から当該検査装置用のレシピを生成する。さらに、検査後の結果をマージしたり、各ダイ、各ショットの重ね合わせた結果から検査不要エリアを画面のグラフィックを使用して指定することにより新たな検査エリアを作成、変更する。
請求項（抜粋）：
ウェーハの回路パターンが形成された基板表面に光、レーザ光または荷電粒子線を照射する照射手段と、該照射によって基板から発生する信号を検出する検出手段と、該検出手段によって検出された信号を画像化して記憶する記憶手段と、該記憶された画像を他の同一の回路パターンから形成された画像と比較する比較手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する判別手段を備えた回路パターンの検査装置において、既に作成したレシピにより複数のウェーハに対して検査を実施する場合に、ウェーハを入れたカセットの棚番を示す画面上で、ある棚番から他の棚番に対してレシピの複写、移動または削除を行う画面操作部を備えたことを特徴とする回路パターンの検査装置。
IPC (8件)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/956 ,  G01N 23/225 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 300 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28
FI (9件)：
H01L 21/66 C ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/956 A ,  G01N 23/225 ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 300 F ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/22 502 D ,  H01J 37/28 B
Fターム (48件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA12 ,  2G001JA13 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA43 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33 ,  5C033UU06 ,  5L096BA03 ,  5L096GA08 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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