ナノチューブベースの電子放射デバイスと同品を使用するシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-581104
公開番号（公開出願番号）：特表2003-532274
出願日： 2001年04月30日
公開日（公表日）： 2003年10月28日
要約：

【要約】サンプルを処理するため高光学品質を有する電子ビームを作るデバイスが提示される。該光学品質は非常な高輝度と低エネルギー拡がりにより明らかにされる。該デバイスは、少なくとも1つのナノチューブを担う導電性クレーターの形が好ましい、形作られた第1層の形の電極と、少なくとも1つのアパーチャーを有して形成されそして該第1層から絶縁されたエクストラクテイング電極とを備える電子源デバイスを具備する。該源はこの様な特性を要するどんなカラム内でも使用出来る。本発明の該カラムはフルサイズ又は小型電子顕微鏡、リゾグラフイーツール、ウエーハの直接書き用に使用されるツール又は電界放射デイスプレーであってもよい。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの電子ビームによりサンプルに該サンプルを処理するために適用されるべきデバイスに於いて、該デバイスは、少なくとも1つの電子放射フアイバーを担う第1導電層の形の電極を備えており、該フアイバーにより作られた該電子ビームをコリメートするために前記第1導電層内に形成されたクレーターの内部に配置された該少なくとも1つの電子放射フアイバーを担っており、該電極と、そして該第1層から絶縁されたエクストラクテイング電極と、を備える電子源デバイスを具備しており、該エクストラクテイング電極は該クレーター上に配置された少なくとも1つのアパーチャーを有して形成されており、それにより該デバイスは該電子ビームの望ましい角発散を提供することを特徴とする該デバイス。

IPC (8件)：

H01J 1/304 , B82B 3/00 , H01J 29/04 , H01J 37/06 , H01J 37/073 ZNM , H01J 37/28 , H01J 37/305 , H01L 21/027

FI (8件)：

B82B 3/00 , H01J 29/04 , H01J 37/06 Z , H01J 37/073 ZNM , H01J 37/28 B , H01J 37/305 B , H01J 1/30 F , H01L 21/30 541 B

Fターム (21件)：

5C030BB02 , 5C030BB06 , 5C030CC02 , 5C030CC03 , 5C031DD15 , 5C031DD17 , 5C033UU02 , 5C034BB01 , 5C034BB02 , 5C135AA13 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135AB20 , 5C135AC03 , 5C135HH02 , 5C135HH06 , 5F056AA40 , 5F056EA02 , 5F056EA04 , 5F056EA06 , 5F056EA08

引用特許：

審査官引用 (6件)

電子放出素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたディスプレイ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229819 出願人：ソニー株式会社
電子放出素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-161506 出願人：日本電気株式会社
電子源及び電子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-142887 出願人：株式会社日立製作所

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