表面検査用撮影装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：宮園純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-329159
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131242
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】水晶振動子やガラス基板等の加工面や上記加工面に金属膜をコーティングした表面の極めて浅い傷や凹凸でも明瞭に撮影することのできる表面検査用撮影装置を提供する。【解決手段】拡散板2からの拡散光を照明集光レンズ5で集光した後、ハーフミラー6で上記拡散光を反射して、金属膜がコーティングされた水晶振動子1の表面に照射するとともに、上記水晶振動子1表面からハーフミラー6を透過した反射光を、CCDカメラ7の接眼レンズ8により、撮像素子であるCCD9に入光させて結像させ、上記水晶振動子1の表面状態を撮影する。

請求項（抜粋）：

表面の状態を検査すべき部材の表面に、同軸落射方式により照明発光部から光を照射し、その反射光を接眼レンズにより撮像素子に結像して上記部材の表面の画像を撮影する表面検査用撮影装置において、上記接眼レンズと同一の焦点距離を有し、上記照射光を集光する照明集光レンズを設けるとともに、上記照射光の光軸,光路と上記反射光の光軸,光路とが光学的に同じになるように設定したことを特徴とする表面検査用撮影装置。

IPC (4件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30 , G02B 21/06 , G02B 21/36

FI (4件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30 A , G02B 21/06 , G02B 21/36

Fターム (31件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC25 , 2F065DD03 , 2F065FF42 , 2F065FF49 , 2F065GG02 , 2F065HH02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL49 , 2F065QQ28 , 2F065QQ32 , 2G051AA42 , 2G051AA84 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC11 , 2G051EA08 , 2G051EA16 , 2H052AC04 , 2H052AC33 , 2H052AF02 , 2H052AF14

引用特許：

審査官引用 (6件)

液晶基板又はICウエハの外観検査用の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-053915 出願人：オリンパス光学工業株式会社
画像計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-254095 出願人：株式会社ニコン
フオトマスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203924 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る